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ALD PLD用高濃度臭氧發生器 Apex H30

ALD PLD用高濃度臭氧發生器 Apex H30

摘要

型號:Apex H32 臭氧濃度:高達300mg/L。品牌:加拿大Absolute,適用于需要高濃度臭氧的實驗室應用,及ALD、半導體、藥物合成等應用。

品牌:Absolute Ozone
型號:Apex H30
臭氧產量:30g/h
臭氧濃度:0-300mg/L
工作原理:板式放電,輕音
更新時間:2025-06-26
來源:www.mm-ishow.cn
作者:同林科技
詳細介紹相關案例

進口板式高濃度臭氧發生器AbsoluteOzone Apex H30

同林臭氧二十年臭氧經驗,現貨供應,官方授權代理商,專業技術維修團隊,免費提供專業臭氧方案
 加拿大Absolute Ozone Apex H30 臭氧發生器,適用于需要高濃度臭氧的實驗室應用,ALD、PLD、MBE、CVD等;以及任何含臭氧的水處理應用,因為臭氧在高濃度下具有高溶解度。

Apex H30臭氧發生器是一款專為半導體和ALD(原子層沉積)應用設計的高效臭氧發生器。其主要特點包括:

高臭氧產量:僅需4 SLPM氧氣即可產生30 g/h的臭氧,適合高濃度需求。

高臭氧濃度:臭氧濃度可達22 wt%(310 mg/L),滿足半導體和ALD實驗的高純度要求。

低流量氧氣需求:僅需4 SLPM氧氣,節省氣源成本。

耐壓范圍廣:標準耐壓15-35 PSI,可選高壓15-85 PSI,適應多種實驗條件。

模塊化設計:支持臺式或機架安裝,可擴展至5 kg/h以上。

緊湊尺寸:體積小巧(35.5*38*17.8 cm),適合實驗室空間有限的環境。

風冷設計:無需冷卻水,在高溫環境(+35℃)下也能穩定運行。

遠程控制:支持遠程臭氧輸出控制,操作便捷。

特點

高純度臭氧輸出:該設備通常具備高精度的臭氧濃度控制,確保臭氧純度,適合對氣體純度要求高的實驗。

穩定性和可靠性:采用先進技術和高質量材料,確保長時間穩定運行,減少實驗中斷風險。

精確控制:具備精確的流量和濃度控制功能,滿足ALD實驗中對氣體流量和濃度的嚴格要求。

低維護成本:設計上注重耐用性和易維護性,降低長期使用中的維護和更換成本。

安全性:配備多重安全保護機制,如過載保護、泄漏檢測等,確保實驗安全。

緊湊設計與易安裝性:小巧尺寸和模塊化設計適合空間有限的實驗室環境。

風冷技術:無需冷卻水,降低運行成本,適合長期使用。

技術支持與售后服務:北京同林提供完善的技術支持和售后服務,幫助用戶解決使用中的問題。

相關型號

高濃度版 Apex H30

耐高壓版 Prime P30

詳細介紹


 







Absolute臭氧發生器成為北京同林臭氧專業實驗站的新成員

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